【摘 要】
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洁净室不同于其他空间,需要将方面空气内的微粒子、细菌以及有害化学气体等污染物净化,并且洁净室内的温度、湿度、洁净度、气流分布、声音震动、照明等等一切控制在一定范围
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洁净室不同于其他空间,需要将方面空气内的微粒子、细菌以及有害化学气体等污染物净化,并且洁净室内的温度、湿度、洁净度、气流分布、声音震动、照明等等一切控制在一定范围内。对于洁净室的环境污染控制,除了需要一些硬件设备配合外,也需要良好的管理制度来进行规范,才能维持良好的洁净度。本文就电子洁净室气态化学污染环境控制规范进行分析,以期提升电子洁净室气态化学污染的控制效果。
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