【摘 要】
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一、引言随着科学技术的发展，纳米测量技术在尖端产品和现代化武器制造中具有非常重要的地位。例如，静电悬浮化陀螺需要10nm或更精确的转子。为了测量如此精密零件的形状，就必须
【机 构】
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中国物资储运郑州公司计量中心,机械工业部机械科学研究院,佛山职业技术学院,西北工业大学
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一、引言随着科学技术的发展，纳米测量技术在尖端产品和现代化武器制造中具有非常重要的地位。例如，静电悬浮化陀螺需要10nm或更精确的转子。为了测量如此精密零件的形状，就必须突破圆度仪主轴系统误差的制约，为此可以采用误差分离技术，即在测量结果中将主轴系统误差与零
I. INTRODUCTION With the development of science and technology, nano-measurement technology plays an important role in the manufacture of cutting-edge products and modern weapons. For example, electrostatic suspended gyroscopes require 10 nm or more accurate rotors. In order to measure the shape of such a precision part, it is necessary to break through the constraints of the spindle system error of the roundness meter. For this purpose, an error separation technique can be used, in which the spindle system error and zero
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