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晶圆制造是半导体制造过程中的一个重要环节。晶圆制造单元的性能直接影响晶圆制造的成本。为了有效地分析晶圆制造单元的动态性能，分别对加工设备存在瓶颈和搬运机器人存在瓶颈的两种情况．进行了赋时Petri网建模研究，建立了晶圆制造单元的赋时Petri网模型。在此基础上，进行了稳态生产率分析，同时用实例验证了模型的有效性和实用性。