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介绍了一种新型的基于聚焦探测法的自然焦点跟踪传感器，该传感器可实现表形貌的快速、非接触测量，其垂直测量范围为５００μｍ，最高分辨率为３ｎｍ。文中详细叙述了该传感器的工作原理、关键技术的实现及其应用。
表面形貌焦点跟踪测量方法的研究
【摘 要】
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介绍了一种新型的基于聚焦探测法的自然焦点跟踪传感器，该传感器可实现表形貌的快速、非接触测量，其垂直测量范围为５００μｍ，最高分辨率为３ｎｍ。文中详细叙述了该传感器的工作原理、关键技
【机 构】
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华中理工大学
【出 处】
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计量学报
【发表日期】
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2000年3期
【基金项目】
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国家自然科学基金! (5 95 75 0 83)
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