【摘 要】
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本文研究了衍射微透镜列阵的设计与制作工艺方法，在此基础上研制出一系列衍射微透镜列阵，衍射效率均大于８５％，在深紫外、可见及红外波前传感器中得到了成功应用。
In this paper, a
【机 构】
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中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室
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本文研究了衍射微透镜列阵的设计与制作工艺方法，在此基础上研制出一系列衍射微透镜列阵，衍射效率均大于８５％，在深紫外、可见及红外波前传感器中得到了成功应用。
In this paper, a series of diffraction microlens arrays have been developed, the diffraction efficiency of which is more than 85%, and have been successfully used in deep UV, visible and infrared wavefront sensors application.
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