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带微进给方式步进电机的ＰＣ控制轴系驱动装置可生产光学质量的表面。超精密车床可生产诸如球体和非球体之类的集合体，其表面粗糙度≤５ｎｍＲａ，可用于光学装置的反光镜或空气轴承转轴的超精密零件。
四轴超精密车床的改进坐标驱动装置
【摘 要】
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带微进给方式步进电机的ＰＣ控制轴系驱动装置可生产光学质量的表面。超精密车床可生产诸如球体和非球体之类的集合体，其表面粗糙度≤５ｎｍＲａ，可用于光学装置的反光镜或空气轴承转轴的超精
【出 处】
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国防科技参考
【发表日期】
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1997年3期
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