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本文提出了在ITO膜上用电子束蒸发的方法沉积了Ta2O5膜的界面情况，结果表明：用该法制备的试样，二者之间没有明显的相互作用，不影响ITO膜的导电性能。
Ta2O5薄膜与ITO膜之间相互作用的研究
【摘 要】
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本文提出了在ITO膜上用电子束蒸发的方法沉积了Ta2O5膜的界面情况，结果表明：用该法制备的试样，二者之间没有明显的相互作用，不影响ITO膜的导电性能。
【出 处】
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电子器件
【发表日期】
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1990年4期
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