射频溅射SiO_2在制造Si/SiGeHBT中的应用

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介结了射频溅射SiO2的原理与工艺,对制造出的Si/SiGeHBT作了分析。 Intercept the principle and process of RF sputtering SiO2, made on the analysis of Si / SiGeHBT.
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