N型GaAs欧姆接触中各组份对比接触电阻的影响

来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:qingqing4452638
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
用类似液相外延的设备,测定了Ga与 As在450℃至 550℃间在 Au-Ge和 Au-Ge-Ni熔体中的溶解度.发现温度升高,Ga与As的溶解度增加,但由于As的逸损,在熔体中 Ga与As的比例也增大.自Au-Ge的共晶组份起,Au含量的提高和Ni的加入均使Ga和As的溶解度增加.自热力学活度角度讨论了溶解度提高的原因.测定了Au-Ge与Au-Ge-Ni(或Fe、Cr、Co)系统的比接触电阻,并结合溶解度的实验和热力学活度的计算进行了讨论.分析了各组份对欧姆接触比接触电阻的影响. The solubility of Ga and As in Au-Ge and Au-Ge-Ni melts between 450 ℃ and 550 ℃ was measured by means of liquid-phase epitaxy.The solubility of Ga and As was found to increase with increasing temperature, but due to The loss of As and the ratio of Ga to As in the melt also increase.The solubility of Ga and As increases with the increase of Au content and the addition of Ni since the eutectic composition of Au-Ge. The reason for the increase of solubility was discussed.The specific contact resistance of Au-Ge with Au-Ge-Ni (or Fe, Cr, Co) system was measured and the calculation of the solubility and thermodynamic activity was discussed. Influence of Components on Ohmic Contact to Contact Resistance.
其他文献
最近有读者来电咨询我刊的电子版本事宜。我刊于2000年已加入CNKI中国知网,该网收录了大量的各类期刊。如读者感兴趣可通过电话400-810-9888(中国学术期刊电子杂志社)询问相
从《风筝》开始,合拍片这个混血儿已经在中国的土地成长了50多年。作为一种商业合作模式,合拍片背后固然有外国资本掘金中国的企图,它同样承载着让世界了解中国的梦想。近年
对于接口技术,“火线”(FireWire)的名字非常具有创意,很有速度感。但如果告诉你它的学名——IEEE1394,恐怕谁都会觉得拗口,于是有一部分人索性就叫它“1394”。其实,IEEE13
中影新片《守护童年》观摩研讨会近日于北京举行,该片讲述的是一位女警受犯人之托寻找与照料他流浪街头的孩子的故事。看片会后,与会的众多专家纷纷大赞这部儿童片拍的真挚感
期刊
《白蛇传说》导演:程小东主演:李连杰黄圣依林峰蔡卓妍文章姜武类型:动作/魔幻/爱情出品:中国巨力影视传媒公司上映时间:2011年9月29日内容简介大宋末年,历经千年修炼的白蛇
一、引言随着器件工艺的不断发展,对离子注入机提出了更高的要求,70年代初的离子注入机只能获得几十微安的束流,称为弱流离子注入机。近年来,广泛采用的是中束流离子注入机,
第 1期 (总第 174期 )1)要把增加农民收入作为农村工作的重中之重本刊评论员 (1)………………………………2 )关于强化责任追究的对策思考张文惠 (4)……3)实施退耕还林还草
一、引言激光问世至今已有二十多年的历史,在第一台激光器诞生不久,Solon,L.H就开始研究红宝石激光的生物效应;Zeret,M.M等用激光凝固视网膜破孔获得成功;1961年他们分别发
据新华社报道,家住合肥市杏花镇的农村妇女姜广元在报纸上看到安徽省政府向社会公开征集2007年度立法项目建议后,根据自己调查了解的情况,提出了加强职业技术教育和培训的立
响应“走基层、转作风、改文风”的号召,本刊派出记者前往安徽省黄山市祁门县,对当地的目连戏进行乡村考察。目连戏作为一个独特而古老的剧种,在中国流传深远而广泛,历经三百