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通过对短距无线RF前端演示模块的研究,概括了以MEMS器件为基础的下一代RF-MEMS系统的具体技术指标,并展示了其技术可行性,讨论了RF-MEMS器件的现行状况和发展.
短距无线RF-MEMS前端演示模块研究
【摘 要】
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通过对短距无线RF前端演示模块的研究,概括了以MEMS器件为基础的下一代RF-MEMS系统的具体技术指标,并展示了其技术可行性,讨论了RF-MEMS器件的现行状况和发展.
【机 构】
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电子科技大学微电子与固体电子学院,四川压电与声光技术研究所
【出 处】
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压电与声光
【发表日期】
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2005年5期
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