【摘 要】
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软 Ｘ 射线多层膜技术是目前工程光学和应用光学中的一个热点。用多层膜可以组成类似于可见光波段的各种软 Ｘ 射线光学仪器，如望远镜、显微镜、投影光刻系统和光谱仪器等。文章简
【机 构】
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软 Ｘ 射线多层膜技术是目前工程光学和应用光学中的一个热点。用多层膜可以组成类似于可见光波段的各种软 Ｘ 射线光学仪器，如望远镜、显微镜、投影光刻系统和光谱仪器等。文章简要介绍长春光学精密机械研究所近年来软 Ｘ 射线多层膜技术的研究概况。
Soft X-ray multilayer film technology is currently a hot spot in engineering optics and applied optics. With the multi-layer film can be composed of similar to the visible light band of various soft X-ray optical instruments, such as telescopes, microscopes, projection lithography systems and spectrometers. This paper briefly introduces the research status of soft X-ray multilayer film technology in Changchun Institute of Optics and Fine Mechanics.
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