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设计了一种新型ＴｉＷ膜自加热结构，产生沿金属化条长方向的温度梯度。文中采用独立的实验和测温金属条结构，利用电阻与温度间的线性关系精确测定金属条上的温度分布，用电阻测温法直接确定电迁徙失效在金属化条上的分布，ＳＥＭ分析与测试结果一致。不同温度梯度和无温度梯度条件下的实验结果表明，逆向温度梯度能显著提高金属化电徙动失效时间，这可以从温度梯度驱动的热扩散离子流作用得到解释。