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中国首个自主研发的高精度硅压力传感器即将在福州量产。据福建上润精密仪器有限公司（以下简称“上润公司”）透露，该公司牵头的高精度硅压力传感器技术研究与产业化开发项目，获国家高技术研究发展计划（简称863计划）立项。该项目将打破国际技术壁垒，为国家工业安全奠定基础。
中国首个自主研发的硅压力传感器即将量产
【摘 要】
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中国首个自主研发的高精度硅压力传感器即将在福州量产。据福建上润精密仪器有限公司（以下简称“上润公司”）透露，该公司牵头的高精度硅压力传感器技术研究与产业化开发项目，获国
【出 处】
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中国集成电路
【发表日期】
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2014年5期
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