论文部分内容阅读
多室连续式PECVD装置可实现多层薄膜的连续淀积,是制备PIN结构非晶硅太阳能叠层电池的重要设备。本文介绍我们研制的PECVD—L425型连续淀积设备的结构特点和调试结果。
多室连续式PECVD装置
【摘 要】
：
多室连续式PECVD装置可实现多层薄膜的连续淀积,是制备PIN结构非晶硅太阳能叠层电池的重要设备。本文介绍我们研制的PECVD—L425型连续淀积设备的结构特点和调试结果。
【机 构】
：
长沙半导体工艺设备研究所
【出 处】
：
微细加工技术
【发表日期】
：
1989年2期
其他文献
我身边很多年轻人都不吃早餐，而我无论如何也要吃早餐，而且一般在2分钟内搞定。不吃早餐会带来很多健康隐患：伤胃、伤胆、伤神、伤脑、伤“心”，甚至增加患糖尿病的风险。惭愧的
在半导体器件制造,冶金及表面物理研究领域中,越来越多地要涉及超薄超纯的高熔点材料薄膜的制备,本文对我们研制的一种可蒸发难熔材料的微型电子束蒸发枪作一简要的描述。
目的观察布地奈德雾化吸入治疗儿童哮喘急性发作的疗效与护理效果.方法：选取本院2017年1月-2018年1月份收治儿童哮喘急性发作患者 100 例,根据数字随机法分为对照组以及观察组
《民族学与现代化》是经云南省委宣传部批准，由云南社会科学院民族学研究所主办的刊物，国内公开发行，暂订为季刊。云南是多民筷的省份，民族学是云南社会科学中的优长学科，具有丰厚
目的:探讨疾病预防控制工作在城乡社区卫生服务中的应用价值。方法:自2016年1月起,以我城乡社区卫生服务中心为研究对象,通过对城乡社区内传染病患者进行分类建卡,通过自制问
<正> 一、前言700keV高能离子注入机,其靶室设计采用了旋转靶结构。如图1所示,在旋转靶盘上均布着8个靶位,分别称为1号靶位、2号靶位、……依此类推至8号靶位。其中1～7号靶用
《阿维斯塔》（Avesta）是伊朗最古的诗歌文献，约形成于公元前十世纪。相传曾用金字把它抄写在一万张牛皮上，保存在王宫的图书馆里。发端于公元前六世纪米底王朝的巴克特利亚（今之阿
目的:评析翻转课堂教学模式用于护理教学中的效果情况。方法:使用整群抽样法择取本校护理专业的学生150名为对象,按照教学方式的差异将其划分成观察组(75名)与对照组(75名),