【摘 要】
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本文介绍了一种对氮质谱探漏仪进行改进的方法。实验证明,在真空系统中接入一只冷钛泵,能使灵敏度提高1～1.5个数量级,即从4.3×10~(-9)托·升/秒提高到4.9×10~(-11)托·升/秒
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本文介绍了一种对氮质谱探漏仪进行改进的方法。实验证明,在真空系统中接入一只冷钛泵,能使灵敏度提高1～1.5个数量级,即从4.3×10~(-9)托·升/秒提高到4.9×10~(-11)托·升/秒,并使探漏时间有所缩短,从而提高工作效率.
This article describes an improved method for nitrogen mass spectrometry. Experiments show that the access to a cold titanium pump in a vacuum system can increase the sensitivity by 1 to 1.5 orders of magnitude, that is, from 4.3 × 10 -9 (T / L) to 4.9 × 10 11 (-11) Torque, liters per second, and shortens the probing time, thereby enhancing work efficiency.
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