【摘 要】
：
本文讨论了用S+注入掺铬的半绝缘GaAs衬底以制备N—GaAs薄层。目的是代替微波低噪声砷化镓肖特基势垒场效应管（SBFET）所需要的GaAs薄外延层。注入条件:能量100Kev,剂量1.5×
【机 构】
：
北京师范大学物理系,中国科学院半导体研究所
论文部分内容阅读
本文讨论了用S+注入掺铬的半绝缘GaAs衬底以制备N—GaAs薄层。目的是代替微波低噪声砷化镓肖特基势垒场效应管（SBFET）所需要的GaAs薄外延层。注入条件:能量100Kev,剂量1.5×1013/cm2,退火温度为825℃,退火时间15分钟。已经做出0.2～0.3μm厚的N型薄层,平均载流子浓度为5×1016～1×1017/cm3。。载流子迁移率在2600～3400cm2/V.S的范围。薄层厚度和载流子浓度的均匀性是好的。采用双注入即注入S+之后,再注入P+可以改善注入
其他文献
选取正丁硫醇、异丁硫醇、正己硫醇和叔辛硫醇为模型硫化物，采用高压釜法研究了以上硫化物在200℃～350℃时对铜粉、铁粉的腐蚀性．研究发现。硫醇对两种金属粉末的腐蚀性与反应温
塔河油田主力油区为奥陶系碳酸盐岩溶缝洞型块状油藏，原油物性特征复杂．部分区块伴生气含有大量的H2S、CO2，T740井伴生气H2S含量为70040×10^-6，部分油井见水及含水率上升较
采用失重法和电化学扫描法研究了等离子表面合金化技术在Ti6A14V（TC4）合金表面形成的Ti—Nb合金层及基体材料的腐蚀行为，分析了Nb的渗入对Ti6A14V耐蚀性的影响．失重法研究表明：在1
通过极化曲线、EIS等电化学手段研究了钛添加剂对无铬达克罗涂层防护性能的影响．结果表明：1％添加剂量对提高涂层防护能力有明显作用，延长了耐盐雾腐蚀时间；这是由于钛添加剂的加入
目的探讨分析动态心电图（Holter）监测老年冠心病患者无症状心肌缺血（SMI）的临床效果。方法：收治老年冠心病患者150例，随机将其分为对照组和观察组各75例，给予对照组患者常规心电图监
对某石化公司热电厂8号汽轮机的断裂叶片进行了宏观形貌、化学成分、金相组织以及扫描电镜形貌和元素成分能谱分析．结果表明，该叶片的断裂属于腐蚀疲劳失效；叶片上的点蚀坑是裂
本文采用循环伏安(CV)法以酸性硫酸盐溶液为基础液,在不同的电沉积工艺条件下制备纳米晶FeCoNi软磁薄膜,并结合SEM、EDX以及Tafel极化等测试方法研究FeCoNi纳米晶薄膜的微观
介绍了某电站热力设备停用保护采用的新型高温成膜缓蚀剂及其停用保护方法．该方法适于机组大小修采用，不但保护效果好、范围广，而且保护工艺简单，操作方便．
<正> 我们测报组自一九七三年春建立以来,在毛主席革命路线指引下,在党组织的领导下,在开展地震的业余测报活动和教育革命方面,做了些工作。对于开展地震测报活动和搞好教育
对核电行业中流动促进腐蚀的现象、危害、现有模型和不同的数值模拟方法进行了介绍和评述，并指出了下一步的主要研究方向．