溅射Au对SnO2／Fe2O3薄膜气敏特性的影响

• 作 者: 马晓翠 阎大卫 肖智博
• 机 构: 深圳大学,吉林大学
• 出 处: 传感器技术
• 发表日期: 2003年6期
• 关键词: SnO2/Fe2O3薄膜 气敏特性 双层薄膜 气体传感器 溅射 表面修饰 氧化铁 氧化锡 SnO_2/Fe_2O_3 double-layer film g

通过直流溅射Au对PCVD方法制备的SnO2/Fe2O3双层薄膜的SnO2表面进行了修饰,并对修饰后的Au-SnO2/Fe2O3薄膜的气敏特性进行了观测.结果表明,Au的催化作用使Au-SnO2/Fe2O3薄膜气敏器件对CO,H2,C2H5OH等气体的灵敏度增大2～3倍,相应于最大灵敏度的工作温度均降低约60 ℃.这显示直流溅射Au是改善SnO2/Fe2O3双层薄膜气敏性能的一种有效手段.