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本文针对砷化镓材料中微量元素的定量分析进行了二次离子质谱的应用基础研究。对离子束清洗及超高真空下清洁砷化镓表面SIMS谱的获得进行了研究,讨论了谱的特征,研究了主要谱峰强度与一次氩离子能量的关系,还对可能出现的GaOH_x~+(X=0,1,…)原子团离子进行了实验研究和讨论,最后对国产GaAs材料的一些实验结果进行了简要的对比。