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采用MEVVA金属离子注入技术和离子束辅助沉积镀膜技术，在高纯氧化铝陶瓷内球面上，镀复一层厚度均匀的、与陶瓷结合良好的金属复合膜，作为某装置内电极。
陶瓷内球面薄膜均匀镀复技术及专用工装
【摘 要】
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采用MEVVA金属离子注入技术和离子束辅助沉积镀膜技术，在高纯氧化铝陶瓷内球面上，镀复一层厚度均匀的、与陶瓷结合良好的金属复合膜，作为某装置内电极。
【出 处】
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应用科技
【发表日期】
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2009年4期
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