【摘 要】
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我们采用氢化物气相外延方法生长了锰掺杂的氮化镓薄膜。使用X光衍射仪（XRD）,喇曼散射仪来研究样品的性质。在锰掺杂氮化镓薄膜的XRD谱里,可以发现有镓锰和镓锰氮化合物成分。
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我们采用氢化物气相外延方法生长了锰掺杂的氮化镓薄膜。使用X光衍射仪（XRD）,喇曼散射仪来研究样品的性质。在锰掺杂氮化镓薄膜的XRD谱里,可以发现有镓锰和镓锰氮化合物成分。除了氮化镓的峰,锰掺杂样品的喇曼谱上在670cm-1处有一个峰,在150,300and450cm-1附近分别有一个展宽结构。我们认为在150,300和670cm-1处的三个模式是由于无序激活喇曼散射引起的,在450cm-1处的模式是镓-锰键的局域振荡引起的。
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