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针对ICF实验数据量大、多学科、多项目的特点，提出了采用Modelica多领域建模与仿真语言进行ICF实验数据处理的建模思路，以使模型的标准统一，可读性强，同时利于ICF实验的知识积累，并进行了软X光谱仪基函数解谱方法的Modelica建模仿真。仿真结果符合实际情况，对构建基于Modelica的ICF实验数据处理系统具有重要意义。