芯片之源光刻机

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还记得小时候我们爱不释手的激光笔玩具吗?那时为了一支激光笔,在学校附近的文具店里挑来挑去,夜晚悄悄对着关了灯的卧室墙壁更换光罩,照出一个个炫目图案!rn温馨提醒:激光笔可能造成儿童视网膜受损,甚至失明,使用时请不要正对人眼照射.rn我们可以从简单的激光笔玩具开始,认识一下风头正劲的光刻机.光刻机发出的光通过具有图形的光罩后,不像我们的激光笔玩具那样照射到地面或者墙壁上,而是照在一种涂有对光高度敏感材料的薄片上,这种材料叫光刻胶,见光后性质会发生变化,从而将光罩上的图形“复印”到薄片上来.看起来,光刻机的作用类似于照相机,不过照相机拍摄的是照片,光刻机刻的是电路图.作为集成电路制造过程中最核心的设备,光刻机正是芯片生产的关键.
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