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射频等离子体辅助化学气相沉积Ti-B-N薄膜的结构与性能

来源 :中国有色金属学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：lhyu11

【作 者】

：

马胜利 马青松 牛新平 徐可为 P Karvankova S V 

【出 处】

：

中国有色金属学报

【发表日期】

：

2020年1期

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