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场发射阵列的主要失效机制是真空电弧。本文先概括了真空电弧的现象，然后描述了一个放电损伤的热电模型。说明了造成损伤的材料量，能量，功率，时间范围和能量来源。根据这个模型，提出了对真空电弧可能采取的各种技术措施。
场发射阵列的热电模型
【摘 要】
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场发射阵列的主要失效机制是真空电弧。本文先概括了真空电弧的现象，然后描述了一个放电损伤的热电模型。说明了造成损伤的材料量，能量，功率，时间范围和能量来源。根据这个模型，提
【机 构】
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华东师范大学电子科学技术系
【出 处】
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功能材料与器件学报
【发表日期】
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1997年1期
【基金项目】
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中国科学院上海冶金研究所离子束开放实验室,国家自然科学基金
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