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由于纳米级精度运动平台在电子隧道扫描显微镜、光刻机及精密医疗设备有广泛需求，传统驱动方式中大行程、高精度难以同时实现，而直线超声电机直接驱动的精密运动平台可望解决该问题。研究所建大行程直线超声电机系统位移分辨率影响因素，通过死区时间理论及启停实验曲线分析探索运动平台可能达到的最小步距；借助XL－80激光干涉仪，实验研究驱动波形、预压力及驱动电压对平台步距影响。结果显示，运动平台分辨率可达25 nm。