应用质子活化分析测定半导体硅中痕量氧、氮和碳

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一、引 言 荷电粒子活化分析是一种基于核技术的分析方法.通过荷电粒子与待测核间的核反应,产生放射性核素;测量这些放射性核素的特征放射性及其强度,即可进行元素的定性、定量分析.荷电粒子活化分析轻元素的灵敏度很高,在国民经济中有着重要的应用. 例如半导体材料的质量、电 I. INTRODUCTION Charged particle activation analysis is a nuclear-based analytical method that generates radionuclides through the nuclear reaction between charged particles and the nuclei to be measured. By measuring the characteristic radioactivity and intensity of these radionuclides, Element Qualitative and Quantitative Analysis Charged Particle Activation Analysis Light elements are highly sensitive and have important applications in the national economy such as the quality of semiconductor materials,
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