【摘 要】
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由于通常的超声换能器所产生的声脉冲持续时间较长,所以不宜用来测量小于100μm的材料厚度.最近,美国IBM研究实验室(IBM Research Laboratory)的谭姆(A·C·Tam)发展了一种
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由于通常的超声换能器所产生的声脉冲持续时间较长,所以不宜用来测量小于100μm的材料厚度.最近,美国IBM研究实验室(IBM Research Laboratory)的谭姆(A·C·Tam)发展了一种产生和检测超短持续时间的声脉冲的方法,可以用来测量薄膜厚度.在厚度为12μm的不锈钢膜上测量的结果表明,精度可达1%.
Since conventional ultrasound transducers generate acoustic pulses that last longer, they should not be used to measure material thicknesses less than 100 μm. Recently, CT Tam of the IBM Research Laboratory in the United States, A method to generate and detect acoustic pulses of ultra-short duration was developed and can be used to measure the film thickness.The results measured on a stainless steel membrane with a thickness of 12 μm indicate an accuracy of 1%.
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