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微纳尺度的三维结构构造技术存在成本高、效率低、环境依赖性强等问题，微区电沉积技术的发展在一定程度上解决了上述问题。介绍了微区电沉积的技术原理、过程控制以及研究现状，讨论了微区电沉积研究中的参数优化、过程模拟与技术发展，并对微区电沉积技术未来的研究重点与发展趋势进行了展望。
微区电沉积技术及其研究进展
【摘 要】
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微纳尺度的三维结构构造技术存在成本高、效率低、环境依赖性强等问题，微区电沉积技术的发展在一定程度上解决了上述问题。介绍了微区电沉积的技术原理、过程控制以及研究现状
【机 构】
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上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室
【出 处】
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功能材料
【发表日期】
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2016年10期
【基金项目】
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国家高技术研究发展计划（863计划）资助项目（2013AA031604）
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