用溅射法制作超声换能器

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用溅射法制成的换能器,目前最常使用的是ZnO薄膜换能器。薄膜换能器的结构如图1所示。在要辐射超声波的声场介质的一个端面上,依次重迭装置着作为内电极的基体金属、ZnO压电膜以及表面电极。超声换能器的特性,由这三部分的声学性质以及 The transducer made by sputtering method, the most commonly used is ZnO thin film transducer. The structure of the thin film transducer is shown in Fig.1. On one end face of the acoustic field medium to be irradiated with the ultrasonic wave, a base metal as an internal electrode, a ZnO piezoelectric film, and a surface electrode are stacked in this order. The characteristics of ultrasonic transducers are determined by the acoustic properties of these three parts as well
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