硅基金字塔结构光控太赫兹调制器

• 作 者: 金浓 朱韵樵 申朝阳 杨青慧 张怀武 文岐业
• 机 构: 电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室
• 出 处: 太赫兹科学与电子信息学报
• 发表日期: 2019年2期
• 关键词: 太赫兹波 金字塔结构 调制器 光控 terahertz wave pyramid structure modulator optically tuned
• 基金项目: 国家科学挑战计划资助项目(TZ2018003),国家自然科学基金资助项目(51572042),国家国际科技合作专项资助项目(2015DFR50870),四川省科技支撑资助项目(2014GZ0091,015GZ0069,2014GZ0003).

提出一种硅基金字塔结构光控太赫兹波调制器。通过化学刻蚀方法在高阻硅基底形成微米级的金字塔结构,研究该结构与高阻硅片对激光的反射率及对太赫兹的调制情况。实验表明,金字塔结构可有效降低激光反射率,提升激光利用率,并且通过增加太赫兹波调制面积,达到显著增强太赫兹波的调制效果,其调制深度达到 90%以上。该硅基金字塔结构光控调制器可在极低的激光功率下工作,具有宽带、大幅度调制的特点,在太赫兹成像领域具有重要应用价值。