【摘 要】
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本文采用双靶交替磁控溅射方法制备了Ｗ／ＳｉＣ纳米多层膜，并用高分辨电镜对多层膜截面形貌及界面微结构进行了分析。结果表明：Ｗ／ＳｉＣ纳米多层膜具有良好的调制结构，其中Ｗ为多晶，ＳｉＣ为非晶，且Ｗ晶粒在垂
【机 构】
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上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室,中国科学院上海冶金研究所
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本文采用双靶交替磁控溅射方法制备了Ｗ／ＳｉＣ纳米多层膜，并用高分辨电镜对多层膜截面形貌及界面微结构进行了分析。结果表明：Ｗ／ＳｉＣ纳米多层膜具有良好的调制结构，其中Ｗ为多晶，ＳｉＣ为非晶，且Ｗ晶粒在垂直于膜面的方向上的长大受到调制周期的限制。Ｗ与ＳｉＣ形成完全非共格界面，该界面具有宏观平直而微观粗糙的特点。在界面上存在一个模糊的过渡层，该过渡层由Ｗ与ＳｉＣ的成份混合区和Ｗ的结构过渡区构成。
In this paper, W / SiC nano-multilayer films were prepared by double-target alternating magnetron sputtering. The cross-sectional morphology and interfacial microstructure of multilayer films were analyzed by high resolution electron microscopy. The results show that W / SiC nano-multilayer films have good modulation structure, in which W is polycrystalline and SiC is amorphous, and the growth of W grains in the direction perpendicular to the film plane is limited by the modulation period. W and SiC to form a completely non-coherent interface, the interface has a macroscopically straight and micro-rough features. At the interface there is a blurry transitional layer consisting of a structurally mixed zone of W and SiC and a structural transition zone of W.
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