【摘 要】
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借助于霍尔效应、拉曼散射、光致发光及电致发光测试技术,研究了氢等离子体处理以及随后的高温退火过程对ZnO薄膜及ZnO纳米棒光学及电学性质的影响.实验结果表明：氢在ZnO薄膜
【机 构】
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中国地质大学北京数理学院,中国地质大学北京地球物理与信息技术学院
【基金项目】
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国家自然科学基金项目资助（No.61106065）, 中央高校基本科研业务费项目资助（No.2652013067）, 大学生创新项目资助（No.2013BXY048）
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借助于霍尔效应、拉曼散射、光致发光及电致发光测试技术,研究了氢等离子体处理以及随后的高温退火过程对ZnO薄膜及ZnO纳米棒光学及电学性质的影响.实验结果表明：氢在ZnO薄膜中不仅充当浅施主,而且还可以钝化晶界处缺陷相关的非辐射复合中心,从而使得载流子浓度及迁移率增大,近带边紫外发光增强.然而,钝化晶界的氢热稳定性较差,500℃时已经完全扩散出ZnO薄膜,因此,500℃退火后载流子迁移率及近带边紫外发光强度迅速减弱.
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