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光学半导体器件的测试能以非接触的简单方式在整个薄片上进行。
用调制分光技术提高器件产量
【摘 要】
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光学半导体器件的测试能以非接触的简单方式在整个薄片上进行。
【机 构】
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美国Brooklyn学院物理教授
【出 处】
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红外
【发表日期】
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1994年11期
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