Dispersion of ultrafine alumina in modifier solution

来源 :中南工业大学学报：英文版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：jasongoes

【摘要】

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［1］CUI Ji-rang, FANG Qi-xue, HUANG Guo-zhi. Crystal structures and surface properties of diaspore and kaolinite[J]. Nonferrous Metal, 1999, (2): 25-30.［2］Steigermal

【作者】

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HU Yue-hua

【出处】

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中南工业大学学报：英文版

【发表日期】

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2001年1期

【基金项目】

：

The National Key Basic Research Program(973)(G1999064901-1)

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［1］CUI Ji-rang, FANG Qi-xue, HUANG Guo-zhi. Crystal structures and surface properties of diaspore and kaolinite[J]. Nonferrous Metal, 1999, (2): 25-30.［2］Steigermald J D, Murarka S P, Gutmann R J. Chemical mechanical planarization of micro-electronic mate

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