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对方轨形ＡＩＳＩ３０４不锈钢靶进行了氮的等离子体浸没离子注入（ＰⅢ）处理，试验结果表明，表面硬度明显提高，摩擦学特性也得到显著改善。其中上表面的改性效果明显优于侧表面。利用二维流体模型对注入过程中等离子体行为进行了模拟研究，结果表明：最大的主剂量发生在上表面的中心区，在侧表面附近由于离子受到底面的竞争吸引，而使注入的剂量低于上表面，因而得到不同的改性效果。