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【摘 要】
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采用微波等离子体化学气相沉积技术（MPCVD）,通过在甲烷和氩气的混合反应气源中加入不同浓度的氢气,合成了超纳米金刚石薄膜（UNCD）.利用扫描电镜,拉曼光谱及X射线衍射对薄膜表面形
【机 构】
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武汉工程大学材料科学与工程学院湖北省等离子体化学与新材料重点实验室,中国科学院等离子体物理研究所
【出 处】
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真空与低温
【发表日期】
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2014年5期
【基金项目】
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国家自然科学基金项目：11175137
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