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从热力学角度分析了Al-Mg-Si合金直接氧化生长Al2O3/Al复合材料工艺过程中，熔体表面Mg蒸气层的存在，按照气体扩散传质动力学原理，解析了Mg蒸气层的厚度。结果表明：熔体上方Mg蒸气层的厚度δ与熔体表面距坩埚上沿的距离L成正比，坩埚上沿处O2的摩尔分数增加，Mg蒸气层厚度减小。Mg蒸气层厚度与材料自氧化生长速度密切相关。