【摘 要】
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1.导言 真空系统内部是一种动平衡状态,一方面由气流而另一方面由抽气来决定剩余气体的压力和成份。因此,系统内部气体质量的变化,可以用物质守恒方程来表示 式中V=系统容积
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1.导言 真空系统内部是一种动平衡状态,一方面由气流而另一方面由抽气来决定剩余气体的压力和成份。因此,系统内部气体质量的变化,可以用物质守恒方程来表示 式中V=系统容积、 P=压力, Q1=一用压力X容积/秒表示的气流 Qp=同样用压力 x容积/秒表示的 每秒被抽气体量 大多数实用
1. INTRODUCTION The interior of a vacuum system is a state of equilibrium in which the pressure and composition of the remaining gas are determined by the air flow on the one hand and by the suction on the other hand. Therefore, the change of the gas quality inside the system can be expressed by the material conservation equation. V = system volume, P = pressure, Q1 = a gas flow expressed in pressure X volume Qs = also expressed in pressure x volume / s The amount of exhaust gas per second is mostly practical
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