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基于MEMS技术的压阻式压力传感器在工业领域应用广泛,传感器的可靠性设计是传感器技术的研究热点,针对汽车电子、石油化工等领域对高可靠性压力传感器的需求,提出了高可靠性压力传感器的设计方法。最后,通过可靠性强化试验对设计的传感器进行可靠性评价,试验结果表明该传感器具有极高的可靠性。
高可靠性压力传感器的设计与研究
【摘 要】
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基于MEMS技术的压阻式压力传感器在工业领域应用广泛,传感器的可靠性设计是传感器技术的研究热点,针对汽车电子、石油化工等领域对高可靠性压力传感器的需求,提出了高可靠性
【机 构】
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北京强度环境研究所
【出 处】
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仪表技术与传感器
【发表日期】
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2017年10期
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