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【摘 要】
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离子注入工艺稳定性的多个表征方法中,热波探针法快速、灵敏且无损,可用于离子注入工艺角度、注入剂量及均一性的表征。介绍了热波探针应用的理论依据和数据实例,并结合数据
【机 构】
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北京烁科中科信电子装备有限公司
【出 处】
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电子与封装
【发表日期】
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2020年8期
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