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【摘 要】
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Ｓ－枪是一种先进的真空溅射镀膜器件，可用于进行多种真空镀膜工艺。详细介绍了研制Ｓ－枪的结构状况及其工作特性。
【机 构】
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合肥工业大学真空教研室
【出 处】
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真空与低温
【发表日期】
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1994年1期
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