【摘 要】
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半导体激光端点干涉测长法是利用半导体激光频率调制特性的一种在长度的两个端点干涉测量长度的新方法。本文介绍基于这种测长方法研制的半导体激光端点测长干涉仪实验系统的
【机 构】
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中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室
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半导体激光端点干涉测长法是利用半导体激光频率调制特性的一种在长度的两个端点干涉测量长度的新方法。本文介绍基于这种测长方法研制的半导体激光端点测长干涉仪实验系统的基本原理、构成、定标方法和测量结果。
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