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世界微型机械高层会议纵览

来源 :国际学术动态 | 被引量 : 0次 | 上传用户：qipini

【作 者】

：

周兆英 袁祖武 

【机 构】

：

清华大学精密仪器与机械学系

【出 处】

：

国际学术动态

【发表日期】

：

1998年4期

【关键词】

：

微系统 微型系统 微型机械技术 微机械技术 

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