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利用三维无条件稳定交替方向隐式有限差分(ADI-FDTD)算法分析射频微机电器件时,为了保证仿真精度和提高计算效率,需要掌握微尺度条件下算法的数值色散特性。利用算法增长矩阵,讨论了多种因素对算法数值色散特性的影响。给出了分析微结构电磁特性时各参数的基本选取原则:空间导数取二阶差分;网格划分的深宽比小于50;取扫描频段内的中高频率点作为计算空间抽样率的参考点;ADI-FDTD算法的时间步长极限为T/2,时间步长的选择应满足时间抽样率与空间抽样率之比小于1。