【摘 要】
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一、引言随着集成电路的增大、复杂性的增加,仅靠试验摸索来确定工艺条件已经不能满足要求。因此,用计算机来模拟工艺过程,确定最优的工艺条件是十分必要的。本工作以SUPREM
【机 构】
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陕西临潼骊山微电子学研究所,陕西临潼骊山微电子学研究所,陕西临潼骊山微电子学研究所
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一、引言随着集成电路的增大、复杂性的增加,仅靠试验摸索来确定工艺条件已经不能满足要求。因此,用计算机来模拟工艺过程,确定最优的工艺条件是十分必要的。本工作以SUPREM—Ⅱ工艺模拟程序为主本,并对其工艺模型参数进行了修改(如修改了离子注
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