【摘 要】
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在加衬底偏压和不加衬底偏压两种情况下，用微波等离子体化学汽相沉积（Ｍ３ＶＣＶＤ）技术在Ｓｉ（１００）衬底上合成了织构的金刚石薄膜使用扫描电子显微镜（ＳＥＭ）和取向Ｘ射线衍射技术证实了我们得到的样品是织构的
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在加衬底偏压和不加衬底偏压两种情况下，用微波等离子体化学汽相沉积（Ｍ３ＶＣＶＤ）技术在Ｓｉ（１００）衬底上合成了织构的金刚石薄膜使用扫描电子显微镜（ＳＥＭ）和取向Ｘ射线衍射技术证实了我们得到的样品是织构的金刚石薄膜观察了织构的金刚石薄膜的成核和生长过程，从理论上对金刚石薄膜异质外延的成核和生长机理进行了探讨
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