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Point 35 Microstructures公司宣布推出汽相氧化物释放蚀刻模块，进一步扩展其微机电系统（MEMS）单晶圆制造memsstar产品系列。这项新增的技术将确保MEMS器件设计师得到更多的生产选择，同时带来了宽泛的制造工艺窗口和各种工艺控制等等好处，从而使良率得到了最大的提升。
Point 35 Microstructures宣布推出汽相氧化物释放蚀刻模块
【摘 要】
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Point 35 Microstructures公司宣布推出汽相氧化物释放蚀刻模块，进一步扩展其微机电系统（MEMS）单晶圆制造memsstar产品系列。这项新增的技术将确保MEMS器件设计师得到更多的生产
【出 处】
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中国电子商情：基础电子
【发表日期】
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2009年4期
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