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随着硅微机械加工技术（MEMS）的快速发展，各种基于MEMS技术的器件应运而生。文中首先对传感器结构及工作原理进行了简单介绍，给出了一种基于MEMS技术制作的压阻式硅微加速度传感器的结构和工艺，并对制作的加速度传感器样品进行了动态测试，测试结果表明实验与理论设计值相符。
基于MEMS的硅微压阻式加速度传感器的设计
【摘 要】
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随着硅微机械加工技术（MEMS）的快速发展，各种基于MEMS技术的器件应运而生。文中首先对传感器结构及工作原理进行了简单介绍，给出了一种基于MEMS技术制作的压阻式硅微加速度传感器
【机 构】
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重庆城市管理职业学院信息工程学院
【出 处】
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电子科技
【发表日期】
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2009年10期
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