论文部分内容阅读
本文在收集和研究了国内外大量的有关氧化薄膜的生长及其应用的基础上，建立了一种高温薄膜应力测定技术，该技术不仅能测高温薄膜生长的应力，而且能探索氧化膜产生和生长机制。目前，本技术存在的最大问题是衍射仪功率太小，因此常常不能利用氧化膜的高角度衍射线进行测定，致使测定结果误差很大，这方面还有待于进一步改进。