高性能128×128元 PtSi肖特基势垒红外焦平面列阵

• 作 者: 杨家德 李作金 杨亚生
• 机 构: 重庆光电技术研究所,重庆光电技术研究所,重庆光电技术研究所 永川 632163教授级高工,永川 632163,永川 632163
• 出 处: 半导体光电
• 发表日期: 1993年02期
• 关键词: 红外焦平面 PtSi 肖特基势垒 光腔 红外辐射 埋沟 CCD 红外探测器 量子效率 红外热成像 均匀性

设计并研制成功128×128元 PtSi 肖特基势垒红外 CCD(PtSi-SBIRCCD)焦平面列阵。介绍了该器件的工作原理。阐述了器件结构和设计思想,并就器件的性能参数进行了研究。

A 128 × 128 element PtSi Schottky barrier infrared CCD (PtSi-SBIRCCD) focal plane array was designed and developed. Describes the working principle of the device. The device structure and design idea are expounded, and the performance parameters of the device are studied.